EFRE Project "InfraProNet 2021-2027"

3D-PFIB: 3D-Präzisionsanalytik für Forschung, Innovation und Branchenentwicklung
Projektlaufzeit: 2025-2027

Die Erforschung neuartiger Materialien für Mikroelektronik, Datenverarbeitung und Sensorik sind für die Entwicklung unserer Gesellschaft von herausragender Bedeutung. Aufgrund der stetig zunehmenden Integration und Leistungsdichte solcher Schlüsselkomponenten steht die moderne Werkstoffforschung vor der Herausforderung, immer kleinere Strukturen mit Abmessungen im Mikrometer und (Sub-)Nanometerbereich mit immer präziseren Analysemethoden untersuchen zu müssen.

Zur Verbesserung der Forschungsinfrastruktur der TU Dresden wird für das Dresden Center for Nanoanalysis (DCN) hierzu eine Ionenfeinstrahlanlage der neuesten Generation beschafft, wodurch nanoanalytische Arbeiten mit bisher unerreichter Präzision und Komplexität unter weitgehender Vermeidung von Artefakten möglich werden. Der Einsatz von Edelgasen und Sauerstoff erlaubt zudem die Bearbeitung technologisch bedeutender organisch-anorganischer Hybrid-Materialien.

Durch die Maßnahme wird die nanoanalytische Materialcharakterisierung in Dresden auf ein neues Level gehoben. Die Einbringung des Geräts in die Technologieplattform DCN stellt darüber hinaus sicher, dass nicht nur die Forschung an der TU Dresden gefördert wird, sondern auch Institutionen im Umland durch Kooperationsprojekte davon profitieren. Mithin wird durch diesen Ausbau einer Schlüsseltechnologie die Zukunftsfähigkeit des Freistaates Sachen nachhaltig gestärkt.